Development of a Multi-Ball-Cantilever AFM for Measuring Resist Surface-猫眼课题宝

DOI：

10.20965/jrm.2006.p0698

发表时间：

2006-12

期刊：

J. Robotics Mechatronics

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

其他

文献类型：

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作者：

Shujie Liu;S. Nagasawa;S. Takahashi;K. Takamasu