高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-
高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-
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高亮度激光等离子体EUV（极紫外）光源的开发 - 靶材设计及特性评价 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
押鐘 寧
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉川隆弥;大谷祐子;中野元博;片岡俊彦;井上晴行;押鐘 寧
