A novel optical super-resolution microscopy for coherent imaging system for micro-structured surface inspection
A novel optical super-resolution microscopy for coherent imaging system for micro-structured surface inspection
复制标题
一种用于微结构表面检测的相干成像系统的新型光学超分辨率显微镜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoru Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
