Pyung-Woo Lee, Sung-Sik Kim, Sanf-Hun Seo, Choong-Seock Chang, Hong-Young Chang, Takanori Ichiki, Yasuhiro Horiike: "A New Inside-Type Segmented Coil Antenna for Uniformity Control in a Large-Area Inductively Coupled Plasma"Jpn. J. App. Phys.. 39, (2000).
Pyung-Woo Lee, Sung-Sik Kim, Sanf-Hun Seo, Choong-Seock Chang, Hong-Young Chang, Takanori Ichiki, Yasuhiro Horiike: "A New Inside-Type Segmented Coil Antenna for Uniformity Control in a Large-Area Inductively Coupled Plasma"Jpn. J. App. Phys.. 39, (2000).
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Pyung-Woo Lee、Sung-Sik Kim、Sanf-Hun Seo、Choong-Seock Chang、Hong-Young Chang、Takanori Ichiki、Yasuhiro Horiike：“一种用于大面积电感耦合均匀性控制的新型内式分段线圈天线
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