マイカスラリーによるシリコンウェハのポリシング特性
マイカスラリーによるシリコンウェハのポリシング特性
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云母浆料抛光硅片的特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田昭次郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村等;岡田昭次郎
