J.Q.Zhang,Y.Setsuhara,S.Miyake and B.Kyoh: "Formation of Carbon Nitride Films by Helicon Wave Plasma Enhanced DC Sputtering"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.36, Pt.1, No.11. 6894-6899 (1997)
J.Q.Zhang,Y.Setsuhara,S.Miyake and B.Kyoh: "Formation of Carbon Nitride Films by Helicon Wave Plasma Enhanced DC Sputtering"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.36, Pt.1, No.11. 6894-6899 (1997)
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J.Q.Zhang、Y.Setsuhara、S.Miyake 和 B.Kyoh：“通过螺旋波等离子体增强直流溅射形成氮化碳薄膜”Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.36，Pt.1，No.11。
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