S.Oda: "Frequency Effects in Processing Plasmas of the VHF Band" Plasma Sources Science & Technology. 2. 26-29 (1993)
S.Oda: "Frequency Effects in Processing Plasmas of the VHF Band" Plasma Sources Science & Technology. 2. 26-29 (1993)
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S.Oda：“VHF 频段等离子体处理中的频率效应” Plasma Sources Science
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