A.Kishimoto,I.Suemune,K.Hamaoka,T.Koui,Y.Honda and M.Yamanishi: "InーSitu RHEED Monitoring of Hydrogen Plasma Cleaning on Semiconductor Surfaces." Jpn.J.Appl.Phys.29. 2273-2276 (1990)
A.Kishimoto,I.Suemune,K.Hamaoka,T.Koui,Y.Honda and M.Yamanishi: "InーSitu RHEED Monitoring of Hydrogen Plasma Cleaning on Semiconductor Surfaces." Jpn.J.Appl.Phys.29. 2273-2276 (1990)
复制标题
A. Kishimoto、I. Suemune、K. Hamaoka、T. Koui、Y. Honda 和 M. Yamanishi:“半导体表面氢等离子体清洁的原位 RHEED 监测”Jpn.J.Appl.Phys.29。 -2276 (1990)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: