ナノピラー間隔を変化させたSi-nanopillar/SiGe0.3複合膜の光ヘテロダイン光熱変位法によるキャリアライフタイム評価

ナノピラー間隔を変化させたSi-nanopillar/SiGe0.3複合膜の光ヘテロダイン光熱変位法によるキャリアライフタイム評価
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采用光学外差光热位移法评估不同纳米柱间距的Si-纳米柱/SiGe0.3复合薄膜的载流子寿命

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
原田 知季,大堀 大介,遠藤 和彦,寒川 誠二,碇 哲雄,福山 敦彦
原田 知季,大堀 大介,遠藤 和彦,寒川 誠二,碇 哲雄,福山 敦彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Tomoki Harada;Tetsuo Ikari and Atsuhiko Fukuyama;原田 知季,大堀 大介,遠藤 和彦,寒川 誠二,碇 哲雄,福山 敦彦

文献摘要

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