Solid-Phase Heteroepitaxy and Property Modification of β-Ga2O3 Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing
Solid-Phase Heteroepitaxy and Property Modification of β-Ga2O3 Thin Films by Room-Temperature Excimer Laser Annealing
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室温准分子激光退火对 β-Ga2O3 薄膜的固相异质外延及性能改性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoru Kaneko and Mamoru Yoshimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akifumi Matsuda;Kisho Nakamura;Hiroyuki Morita;Nobuo Tsuchimine;Satoru Kaneko and Mamoru Yoshimoto
