电火花结合化学机械抛光大面积自支撑CVD金刚石膜

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发表时间:
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期刊:
Advanced Materials Research
影响因子:
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通讯作者:
康仁科
康仁科
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
金洙吉;董伯先;苑泽伟;康仁科

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