酸化物半導体を用いた三次元集積メモリデバイスの研究動向

酸化物半導体を用いた三次元集積メモリデバイスの研究動向
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氧化物半导体三维集成存储器件的研究趋势

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小林正治
小林正治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
矢代航;梁暁宇;Wolfgang Voegeli;白澤徹郎;米山明男;Yasutaka Fujimoto;加藤明樹;鈴木左文;小林正治

文献摘要

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