X線回折によるパワー半導体単結晶基板の結晶面湾曲の3D可視化
X線回折によるパワー半導体単結晶基板の結晶面湾曲の3D可視化
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使用 X 射线衍射对功率半导体单晶衬底的晶面曲率进行 3D 可视化
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
姚永昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takuma Kobayashi;Takato Nakanuma;Asato Suzuki;Mitsuru Sometani;Mitsuo Okamoto;Akitaka Yoshigoe;Takayoshi Shimura;and Heiji Watanabe;姚永昭
