Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates
Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates
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极性反转多层 ScAlN 薄膜/AlN 和 BN 基底上 0 至 4 模瑞利表面声波耦合因子的增强
DOI：
10.35848/1347-4065/ac5650
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发表时间：
2022
影响因子：
1.5
通讯作者：
Kakio Shoji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takano Yusei;Suzuki Masashi;Kakio Shoji
