S.Sugiura, Y.Setsuhara, K.Takahashi, K.Ono: "Numerical Analysis of Inductively Coupled RF Plasmas Driven by Low-Inductance Internal Antenna"Proc.20th Symposium on Plasma Processing, Nagaoka. 171-172 (2003)
S.Sugiura, Y.Setsuhara, K.Takahashi, K.Ono: "Numerical Analysis of Inductively Coupled RF Plasmas Driven by Low-Inductance Internal Antenna"Proc.20th Symposium on Plasma Processing, Nagaoka. 171-172 (2003)
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S.Sugiura、Y.Setsuhara、K.Takahashi、K.Ono：“低电感内部天线驱动的电感耦合射频等离子体的数值分析”Proc.20th 等离子体处理研讨会，长冈。
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