MVP法による細穴内面プラズマ処理・DLCコーティング法の開発(招待)
MVP法による細穴内面プラズマ処理・DLCコーティング法の開発(招待)
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使用MVP法开发小孔内表面等离子体处理和DLC涂层方法（邀请）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上坂裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Okazaki R.;Nakamura T;三沢達也;上坂裕之
