A Model for Antenna-Plasma Wave Coupling towards Control of Uniformity in Slot-Excited Microwave Discharges
A Model for Antenna-Plasma Wave Coupling towards Control of Uniformity in Slot-Excited Microwave Discharges
复制标题
用于控制缝隙激发微波放电均匀性的天线-等离子体波耦合模型
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Takeno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D.Sawada;A.Tsuji;T.Kitsudo;Y.Yasaka;H.Takeno
