電界砥粒・スラリー制御技術が拓く先進基盤加工技術開発

電界砥粒・スラリー制御技術が拓く先進基盤加工技術開発
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以电场磨料和浆料控制技术为首创的先进基础加工技术的开发

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
赤上陽一
赤上陽一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
柴田純;酌井徹也;西田均;Y. AKAGAMI;西田均;Y.AKAGAMI;赤上陽一

文献摘要

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