Relationship between droplet density and internal stress in CrNfilms deposited by AIP method
Relationship between droplet density and internal stress in CrNfilms deposited by AIP method
复制标题
AIP法沉积CrN薄膜中液滴密度与内应力的关系
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Morio Kawasaki and Daisuke Yonekura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuya Kusaka;Morio Kawasaki and Daisuke Yonekura
