Interface-Modulated Solid-Phase Crystallization of Sn-Doped Ge Ultra-thin Films for Advanced TFT
Interface-Modulated Solid-Phase Crystallization of Sn-Doped Ge Ultra-thin Films for Advanced TFT
复制标题
用于先进 TFT 的 Sn 掺杂 Ge 超薄膜的界面调制固相结晶
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and K. Yamamoto
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Sadoh;T. Nagano;T. Koga;K. Moto;and K. Yamamoto