不同衬底温度制备ZrN薄膜的物理性能
不同衬底温度制备ZrN薄膜的物理性能
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DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
魏鸿源
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高 洁;姚威振;杨少延;魏 洁;李成明;魏鸿源
