イオンミキシング蒸着法により作製したBN薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響
イオンミキシング蒸着法により作製したBN薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響
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成膜条件对离子混合气相沉积BN薄膜内应力的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田 仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
冷 波;花木 聡;山下 正人;内田 仁
