First-principles Calculations of High Efficiency Abrasive Grain for GaN Chemical Mechanical Polishing
First-principles Calculations of High Efficiency Abrasive Grain for GaN Chemical Mechanical Polishing
复制标题
GaN化学机械抛光高效磨粒的第一性原理计算
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takuya Igarashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wenting Gu;Ryosuke Nishikubo;and Akinori Saeki;Takuya Igarashi
