T.Fujii, H.Yamada et al.: "Error budget of step height and pitch Measurement using a scanning tunneling microscope with a three-dimensional interferometer" J.Vac.Sci.Technol.B. Vol.15,No.4. 1494-1497 (1997)
T.Fujii, H.Yamada et al.: "Error budget of step height and pitch Measurement using a scanning tunneling microscope with a three-dimensional interferometer" J.Vac.Sci.Technol.B. Vol.15,No.4. 1494-1497 (1997)
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T.Fujii、H.Yamada 等人：“使用扫描隧道显微镜和三维干涉仪测量台阶高度和节距的误差预算”J.Vac.Sci.Technol.B。
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