Ion-based growth of special films: Techniques and mechanisms

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DOI:
10.1016/0040-6090(82)90187-0
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发表时间:
1982-06
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
C. Weissmantel
C. Weissmantel
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
C. Weissmantel

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