Numerical simulation of high frequency coplanar micro-discharge plasma - Influence of electrodes arrangement on discharge property -

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高频共面微放电等离子体数值模拟-电极排列对放电特性的影响-

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc. of the 6^<th> International Conference on reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing
影响因子：
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通讯作者：
S.Uchida
S.Uchida
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S.Otsuka;F.Tochikubo;S.Uchida

文献摘要

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