Tatsuru Shirafuji: "In situ ellipsometric monitoring of poly-Si thin film grown by RF plasma of SiF_4/SiH_4/H_2 gas mixutre" Technical Report of IEICE. SDM94-111. 79-84 (1994)
Tatsuru Shirafuji: "In situ ellipsometric monitoring of poly-Si thin film grown by RF plasma of SiF_4/SiH_4/H_2 gas mixutre" Technical Report of IEICE. SDM94-111. 79-84 (1994)
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Tatsuru Shirafuji：“SiF_4/SiH_4/H_2 混合气体射频等离子体生长的多晶硅薄膜的原位椭圆测量监测”IEICE 技术报告。
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