K.Tanioka, T.Sugino and J.Shirafuji: "Characterization of boron nitride films synthesized by plasma-assisted chemical vapor deposition" TECHNOLOGY REPORTS OF THE OSAKA UNIVERSITY. (in press.).
K.Tanioka, T.Sugino and J.Shirafuji: "Characterization of boron nitride films synthesized by plasma-assisted chemical vapor deposition" TECHNOLOGY REPORTS OF THE OSAKA UNIVERSITY. (in press.).
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K.Tanioka、T.Sugino 和 J.Shirafuji：“等离子体辅助化学气相沉积合成的氮化硼薄膜的表征”大阪大学技术报告。
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