Micromachined variable capacitors with wide tuning range
Micromachined variable capacitors with wide tuning range
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具有宽调谐范围的微机械可变电容器
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Farmer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhixiong Xiao;W. Peng;R. Wolffenbuttel;K. Farmer
