X.Li,T.Abe and M.Esashi: "Deep Reactive Ion Etching of PZT Using SF_6 Plasma"The Internl.Conf.on Electrical Eng.2000(ICEE2K). 275-278 (2000)
X.Li,T.Abe and M.Esashi: "Deep Reactive Ion Etching of PZT Using SF_6 Plasma"The Internl.Conf.on Electrical Eng.2000(ICEE2K). 275-278 (2000)
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X.Li、T.Abe 和 M.Esashi：“使用 SF_6 等离子体对 PZT 进行深度反应离子蚀刻”The Internl.Conf.on Electrical Eng.2000(ICEE2K)。
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