Siバルク多結晶の結晶組織制御に向けた炉内温度分布計算
Siバルク多結晶の結晶組織制御に向けた炉内温度分布計算
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硅块体多晶晶体结构控制的炉温分布计算
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美 徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平松 巧也;高橋 勲;宇佐美 徳隆
