RF反応スパッタ法によるAl-0-Nコーティング膜の作製
RF反応スパッタ法によるAl-0-Nコーティング膜の作製
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射频反应溅射法制备Al-0-N镀膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他3名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野瀬正照;長柄毅一;寺山清志;池野進;他3名
