Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO_2 sputtering yields by fluorocarbon beams
Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO_2 sputtering yields by fluorocarbon beams
复制标题
氟碳束射入角度对SiO_2溅射产率依赖性的分子动力学模拟分析
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Kawase;S.Hamaguchi
