サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸力センサ
サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸力センサ
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使用侧壁掺杂的压阻三轴力传感器
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅哲朗 ,高橋英俊 ,青山雄一郎 ,竹井裕介,野田堅太郎 ,松本潔 ,下山勲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤 徹;山口正人;平出正孝;菅哲朗 ,高橋英俊 ,青山雄一郎 ,竹井裕介,野田堅太郎 ,松本潔 ,下山勲
