大気圧マルチガス高純度プラズマ源の開発と応用
大気圧マルチガス高純度プラズマ源の開発と応用
复制标题
常压多气体高纯等离子体源的研制与应用
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
沖野晃俊
中科院分区:
文献类型:
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作者:
宮原秀一;沖野晃俊