An RF-MEMS Device with a Lateral Field-Emission Detector

An RF-MEMS Device with a Lateral Field-Emission Detector
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具有横向场发射探测器的 RF-MEMS 器件

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc. The 18th Int. Vacuum Nanoelectronics Conference 10-14 July 2005, St. Catherine's College, Oxford, UK.
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Toshiyoshi
Hiroshi Toshiyoshi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kiyotaka Yamashita;Winston Sun;Kuniyuki Kakushima;Hiroyuki Fujita;Hiroshi Toshiyoshi

文献摘要

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