マイクロ超音波センサの高感度化構造プロセスにおける圧電体/SiO2ダイアフラムの自発的座屈方向制御
マイクロ超音波センサの高感度化構造プロセスにおける圧電体/SiO2ダイアフラムの自発的座屈方向制御
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微型超声波传感器高灵敏结构工艺中压电材料/SiO2膜片自发屈曲方向控制
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中光
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. -H. Park;M. Miyao;T. Sadoh;J. Nara and S. Adachi;田中光
