HCl cleaning and surface preparation for gate dielectrics on InSb
HCl cleaning and surface preparation for gate dielectrics on InSb
复制标题
InSb 栅极电介质的 HCl 清洗和表面处理
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Vavasour OJ
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Vavasour OJ
