ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響
ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響
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纳米压印粘合过程中基板温度对紫外固化树脂流动的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yantao Li;Katsuya Fukuda and Qiusheng Liu;浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
