In-Ga-Zn-O成膜温度が薄膜トランジスタ特性および信頼性に及ぼす影響
In-Ga-Zn-O成膜温度が薄膜トランジスタ特性および信頼性に及ぼす影響
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In-Ga-Zn-O成膜温度对薄膜晶体管特性和可靠性的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古田守
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中宏怜;東龍之介;古田守
