Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer
Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending drive wafer
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通过弯曲驱动晶圆实现驱动微镜的可调谐垂直梳
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Sasaki;M.Ishimori;J.-H.Song;K.Hane
