Fabrication of nanopillar micropatterns by hybrid mask lithography for surface-directed liquid flow
Fabrication of nanopillar micropatterns by hybrid mask lithography for surface-directed liquid flow
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通过混合掩模光刻制造纳米柱微图案以实现表面定向液体流动
DOI：
10.3390/mi4020232
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
M. Sugita and F. Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Sakuma;M. Sugita and F. Arai
