エアロゾルデポジション法によるTiN膜の形成
エアロゾルデポジション法によるTiN膜の形成
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通过气溶胶沉积法形成TiN膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高木眞一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
青木皓一郎;木村響之介;長谷川誠;高木眞一
