Selective-Area Growth of Single-Crystal Diamond Films by Hot-Filament CVD Using Metal Masks
Selective-Area Growth of Single-Crystal Diamond Films by Hot-Filament CVD Using Metal Masks
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使用金属掩模通过热丝 CVD 选择性区域生长单晶金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Y. Mokuno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ohmagari;T. Matsumoto;H. Umezawa;and Y. Mokuno
