Chemical Vapor Deposition (CVD): Types, Uses and Selected Research
Chemical Vapor Deposition (CVD): Types, Uses and Selected Research
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化学气相沉积 (CVD)：类型、用途和选定的研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hisanao Akima and Shigeo Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masao Sakuraba;Hisanao Akima and Shigeo Sato
