SiCの基本加工特性に及ぼすUV照射の効果
SiCの基本加工特性に及ぼすUV照射の効果
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紫外辐照对SiC基本加工特性的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小辻利幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長田俊郎;高橋宏治;小辻利幸
