E.Purwanto and S.TOYAMA: "Sub-micron level fine alignment system by using the ultrasonic spherical motor"Proc.of Tenth World Congress on TMM. vol.5. 1997-2002 (1999)
E.Purwanto and S.TOYAMA: "Sub-micron level fine alignment system by using the ultrasonic spherical motor"Proc.of Tenth World Congress on TMM. vol.5. 1997-2002 (1999)
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E.Purwanto 和 S.TOYAMA：“使用超声波球形电机的亚微米级精细对准系统”第十届世界 TMM 大会论文集。
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