M.Goto et al.: "Low Temperature Growth of Amorphous and Polycrystalline Silicon Films from a Modified Inductively Coupled Plasma" Jpn. J. Appl. Phys.36. 3714-3720 (1997)
M.Goto et al.: "Low Temperature Growth of Amorphous and Polycrystalline Silicon Films from a Modified Inductively Coupled Plasma" Jpn. J. Appl. Phys.36. 3714-3720 (1997)
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M.Goto 等人：“利用改进的电感耦合等离子体低温生长非晶硅和多晶硅薄膜”Jpn。
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