Sputtering Yield Measurements with Size-selected Gas Cluster Ion Beams
Sputtering Yield Measurements with Size-selected Gas Cluster Ion Beams
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使用选定尺寸的气体团簇离子束测量溅射产率
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J.Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Ichiki;S.Ninomiya;T.Seki;T.Aoki;J.Matsuo
