"Poly (silamine) s as new electron-beam resist materials" Macromolecular Rapid Communications. 17(1). 51-58 (1996)

"Poly (silamine) s as new electron-beam resist materials" Macromolecular Rapid Communications. 17(1). 51-58 (1996)
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“聚(硅胺)作为新型电子束抗蚀剂材料”高分子快速通讯。

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